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简介:涂层工艺过程说明 这种新的涂层系统采用了混合涂层技术来实现涂层的沉积。该技术将阴极电弧蒸发与电子管磁控溅射结合在同一工艺过程中。电弧蒸发沉积的TiAlN涂层在涂层系统中起到粘结层的作用,并(或)为涂层系统提供所需的抗磨损能力;Al2O3涂层则为系统提供高温稳定性和化学稳定性。 在一个典型的混合涂层系统(图1)中,安装了几个电弧和磁控电子管溅射阴极。在进行沉积之前,将工件加热到工作温度,系统压力降至基压。工件经过氩气等离子清洗或金属离子浸蚀处理后,进行等离子电弧沉积涂层,并在该涂层之上用PVD
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涂层技术的创新——用PVD工艺涂覆氧化铝涂层


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